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该系统专为氟化氩准分子激光器设计，未来调整配置后回收效率有望进一步提升。随着俄乌冲突导致乌克兰氖气供应中断，全球半导体供应链承压，中国、韩国等地已加大氖气生产力度，多家芯片制造商也引入回收系统应对缺口。##半导体##氖气回收##芯片供应链#
